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| 各種材料の高純度化が進み、新たな特性が見出されるにつれて、そこに存在する不純物の影響を明らかにすることが必要とされています。また、材料に新たな機能を持たせるために添加される微量元素量を把握・管理することは、材料の品質保持の上で非常に重要です。このように、各種材料中の微量元素を高感度・高精度に定量するための化学分析技術（化学的前処理＋高感度測定機器を組み合わせた手法）が、ますます必要不可欠になっています。 |
分析環境
クリーンルーム（クラス100管理）
クリーンドラフト（クラス10管理，クリーンルーム内設備）
微量分析用前処理室
高感度測定装置
誘導結合プラズマ質量分析計（ICP-MS）
誘導結合プラズマ発光分光分析装置（ICP-AES）
黒鉛炉型原子吸光分析装置（GF-AAS）
ハイスループット前処理装置
マイクロ波試料分解装置，高圧試料分解装置
イオン交換分離装置
（陽イオン・陰イオン交換樹脂，キレート樹脂）
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誘導結合プラズマ質量分析装置（ICP-MS）
㈱エスアイアイ・ナノテクノロジー製 SPQ-9000
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イオン交換分離カラム |
マイクロ波試料分解装置
㈱マイルストーンゼネラル製
MLS-1200 MEGA |
- 分析対象元素の濃度・特性・前処理方法に応じて分析室を選択
- 試料マトリックスが測定を妨害する場合
イオン交換・キレート樹脂，溶媒抽出分離・濃縮
目的成分を試料マトリックスから分離することで，測定装置性能を最大限に発揮する．
- 通常の酸・アルカリ分解で溶液化が困難な場合
マイクロ波試料分解装置，高圧試料分解装置
試料の完全溶液化により正確な定量値を得る．
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- 目的元素の濃度に応じて最適な測定方法を選択
ICP-AESおよびICP-MS
 多元素同時分析が可能．
共存元素による化学干渉やイオン化干渉が小さい．
多くの元素について高感度分析が可能．
GF-AAS
Na, K等の軽金属も高感度分析が可能
フッ化水素酸共存化下でも測定が可能
試料マトリックス共存下での微量分析が可能
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前処理法 ：マイクロ波試料分解装置（酸分解）
測定装置 ：ICP-MS |
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前処理法 ：酸分解（ふっ化水素酸＋硝酸）（LSI用二酸化けい素分析用）
陰イオン・陽イオン交換樹脂積層カラム前処理 （LSI高純度アルミニウム分析用）
陽イオン交換樹脂前処理 （高純度タングステン材料分析用）
測定装置 ：ICP-MS |
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前処理法 ：酸分解法（硝酸，または硝酸＋硫酸）
測定装置 ：GF-AAS
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