【気中及び液中パーティクル数の測定事例】
【発表内容】
【パーティクルとは?】
パーティクルの意味
微粒子測定について
【背景】
パーティクル測定の背景
清浄度の定義
清浄度の規格
清浄度のクラス分類
各分野に必要な清浄度クラス
粒子の大きさ
【装置紹介】
パーティクル測定の分類
気中パーティクルカウンター
液中パーティクルカウンター
装置概要
【測定事例紹介】
紹介内容
当社クリーンルームの清浄度
当社分析室内パーティクル測定
水の液中パーティクル測定結果
薬品のグレード比較測定結果
有機溶媒中のパーティクル測定
その他の測定事例
【まとめ】
応用 製品の発塵テスト及び溶出試験
最後に・・・
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第12回NTR技術ミーティング発表テーマ
於.新日本製鐵(株)広畑製鐵所見学者ホール
平成20年 5月27日(火)
テーマ名:『気中及び液中パーティクル数の測定事例』
発表者:材料技術部 化学分析課 北辻 真宏