エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置“ED-XRF”

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エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置の紹介 ED-XRF:Energy Dispersive X-ray Fluorescence Spectrometer

　蛍光Ｘ線分析装置は、試料の加工・調整を殆ど行わず非破壊のままに、かつ迅速に、元素組成を知ることが出来る重宝な装置で、従来より広く使用されています。
　ここでご紹介する“エネルギー分散型蛍光X線分析装置(ED-XRF)”は、元素から発生する特性Ｘ線をエネルギー分散型の半導体検出器で分光分析するもので、従来同タイプの装置と比較して定量精度が向上し、さらに従来の波長分散型蛍光Ｘ線分析装置と比較しても、装置本体が小型軽量化され、定量速度がアップしています。
　本装置は、固体、粉体、液体を問わず、あらゆる形態試料の元素分析が可能です。

【目　次】

1.新型ED-XRFの特徴
2.ED-XRF装置の構造
3.分析対象と検出限界
4.化学分析値との比較
5.適用事例紹介
6.Ｑ＆Ａ

【新型ED-XRFの特徴】

・従来型ED-XRF及びEDXと比較して定量精度が向上 ・C～Uまでの分析が可能(従来型はNa～U) ・最大 290mmφ，80mmHまでの大型試料の測定が可能 ・分析面積は約10mmφと3mmφで選択可能 ・真空中及び大気中での分析が可能 ・溶液や湿った試料も直接分析可能 ・粉末や不定形の試料も分析可能 ・EDXよりも深いX線侵入深さ(金属約10μm,有機物約数mm)

エネルギー分散型蛍光X線分光装置
(日本電子製 JSX-3201)

ED-XRF装置の構造

分析対象と検出限界

元素	H-B	C,N,O,F	Na,Mg,Al	Si,P,S	Cl	Ca-Rh	Pd-U
鉄鋼	-	10%-	1%-	0.1%-	1%-	0.01%-	0.1%-
非鉄金属	-	〃	〃	〃	〃	〃	〃
酸化物	-	〃	〃	〃	〃	〃	〃
有機材料	-	〃	〃	〃	〃	0.001%-	0.01%-
溶液*	-	-	〃	〃	〃	〃	0.1%-

　　　*大気中分析

【ED-XRFの分析適用事例】

　　(1). Mn,Fe,Co,Cu混合標準液のED-XRF分析結果
　　(2). 高炉スラグ（NSC600）のED-XRF分析結果
　　(3). ステンレス鋼（SUS304:JSS651-6）のED-XRF分析結果
　　(4). 鉄鋼標準試料（JSS430-5）のED-XRF分析結果
　　(5). TiNコーティング材のED-XRF厚さ測定分析結果
　　(6). 各種SUSのED-XRFスペクトル重ね書き

※お願い:試料の取り扱いは事前にご相談下さい。




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