表面及び物理解析手法と調査事例

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表面及び物理解析手法と調査事例

【報告順序】

分析の原理

【表面分析装置の比較】

【各分析のまとめ】

ＡＥＳ：オージェ電子分光装置: 極表面の定性分析、深さ方向分析、最小 1μmの微小部分析などが可能である。; (分析例)ステンレス鋼を加熱後、表面より深さ方向分析をすると酸化皮膜厚さに大きな差があり、また表面直下のFe,Crの濃度変化が明確になった。
ＸＰＳ：Ｘ線光電子分光装置: 極表面の定性分析、元素の結合状態分析、深さ方向分析などが可能である。; (分析例)ステンレス鋼を硝酸処理後、深さ方向分析を行うと表面にCr濃化しており、さらに状態分析を行うとCrが水酸基と結合していることが分かった。
ＥＰＭＡ：電子線マイクロアナライザ: 元素の濃度分布をカラーマッピング表示することが可能である。; (分析例)ステンレス鋼の厚い酸化皮膜の断面方向面分析により、広範囲の元素濃度分布を明確に表示できた。