【ICP-MSの特徴(1)】
- ・多元素同時分析及び高感度分析が可能
- ・定量可能な元素数 73元素
- ・定性・半定量が可能な元素数 67元素
- 検出限界がICP-AESの数100〜数1000倍
- ・微量領域における広い濃度範囲の分析が可能
- (ppt,ppb,ppmオーダーから％までの濃度領域をカバー)
- →超微量及び微少量試料の分析が可能
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| ICP-MSと各種分析法の感度比較 |
【ICP-MSの特徴(2)】
- ・適用範囲の拡大
- ・高濃度マトリックス試料の適用
- (90°偏向器の採用)
- ・Na,K,Ca,Feの測定
- (チャンバーガス導入による分子イオンの低減)
- ・有機溶媒の直接分析
- ・フッ化水素酸の直接分析
- ・同位体比の測定、同位体希釈法が可能
- →多種多様な試料の超微量分析が可能
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| ICP-MSの構造 |
| 水質分析における検出限界一覧表 |
【ICP-MSの適用範囲】
測定可能な元素:H,C,N,O,Fと放射性同位体及び希ガスを除いた73元素
| ・材質関係 | 高純度金属及び金属化合物☆、高純度酸化物☆、石炭☆、重油など油類、半導体材料☆、樹脂など有機化合物☆、メッキ液、石英☆ |
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| ・試薬関係 | 鉱酸 高純度無機試薬 有機溶媒 |
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| ・環境関係 | 河川水、海水、雨水、ボイラー水、工業用水・排水 排ガスダスト☆、排ガス吸収液 土壌☆、産業廃棄物☆ |
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（☆：溶液化処理が必要） |
表１．ICP-MSの分析適用事例詳細
| 分析対象試料 |
前処理方法 |
測定方法 |
測定対象元素 |
測定結果 |
| LSI用二酸化けい素標準物質(日本分析化学会) |
硝酸とフッ化水素酸で加熱分解 |
ICP-MS |
U,Th |
ICP-MS-1 |
| 標準石炭(NIST1632b) |
硫酸と硝酸で加熱分解 |
ICP-MS |
Cr,Cu,As,Rb,Cd,Ce,Cs,Pb,Th,U |
ICP-MS-2 |
| 高純度鉄(JSS001-3) |
塩酸と硝酸で加熱溶解 |
ICP-MS(標準添加法) |
Co,Cu,Zn,Sn,Pb |
ICP-MS-3 |
高純度鉄(JSS003-4)
0.0114g |
塩酸と硝酸で加熱溶解 |
ICP-MS |
Cr,Mn,Co,Ni,Cu |
ICP-MS-4 |
アルミニウム地金(NIST85B)
0.0052g 及び 0.0168g |
塩酸と硝酸で加熱溶解 |
ICP-MS |
Mg,Cr,Mn,Fe,Ni,Cu,Zn,Ga,Pb |
ICP-MS-5 |
超微量分析用フッ化水素酸
及び 試薬特級フッ化水素酸 |
フッ化水素酸を希釈 |
ICP-MS+フッ化水素酸システム(標準添加法) |
Cu,Fe,Mn,Ni,Zn,Sb,Ca,Cd,Pb,Bi |
ICP-MS-6 |
3種類のキシレン
(電子工業用,試薬特級,試薬一級) |
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ICP-MS+有機溶媒システム(標準添加法) |
Na,Ca,Mn,Fe,Ni,Cd,Pb |
ICP-MS-7 |
| ※操作は全てクリーン度１００のクリーンルーム内で実施 |
【まとめ】
- 1.多元素同時分析及び 高感度分析が可能
- ・定量可能な元素数 73元素
- ・定性・半定量が可能な元素数 67元素
- ・微少量試料の分析が可能
- 2.適用試料
- ・材質関係 高純度金属及び金属化合物、高純度酸化物、石炭、重油など油類、半導体材料
- ・試薬関係 鉱酸、高純度無機試薬、有機溶媒
- ・環境関係 河川水、海水、雨水、ボイラー水
、工業用水・排水、排ガスダスト、排ガス吸収液 土壌、産業廃棄物
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※お願い:試料の取り扱いは事前にご相談下さい。
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