オージェ電子分光分析装置(AES)
名称:オージェ電子分光分析装置(日本電子社 JAMP-10S )
用途:最表面層(8Åまで)の元素分析、Arスパッタリングによる
約5000Åまでの深さ方向元素分布測定
[事業内容]
[AES-2]